高分辨场发射扫描电子显微镜
| 仪器型号 | Verios 5UC |
|---|---|
| 制造商 | 美国ThermoFisher公司 |
| 安装时间 | 2021-12 |
| 设备配置 | 配有单色器； 加速电压：20V-30kV； 束流强度：0.8pA-100nA； SE/BSE探测器； 五轴驱动样品台； 高分辨EDS能谱系统； 高性能EBSD系统； |
| 功能说明 | 用于纳米材料的高分辨微观形貌观察和微区分析 |
| 技术指标 | 分辨率： 二次电子像：0.6nm@15 kV；0.7nm@1 kV； |
| 仪器型号 | Verios 5UC |
|---|---|
| 制造商 | 美国ThermoFisher公司 |
| 安装时间 | 2021-12 |
| 设备配置 | 配有单色器； 加速电压：20V-30kV； 束流强度：0.8pA-100nA； SE/BSE探测器； 五轴驱动样品台； 高分辨EDS能谱系统； 高性能EBSD系统； |
| 功能说明 | 用于纳米材料的高分辨微观形貌观察和微区分析 |
| 技术指标 | 分辨率： 二次电子像：0.6nm@15 kV；0.7nm@1 kV； |