像差校正透射电子显微镜
| 仪器型号 | Spectra 300 |
|---|---|
| 制造商 | 美国 ThermoFisher 公司 |
| 安装时间 | 2021年11月 |
| 设备配置 | 配有带单色器的高亮度热场发射电子枪(X-FEG + Monochromator)； 物镜球差校正器； 5阶聚光镜球差矫正器(S-CORR)； 分割式STEM探头和DPC/iDPC技术； 无窗口四探头Super-X原子分辨能谱； Gatan直接电子探测的K3/1069 GIF系统； 3D Tomography成像系统，自动进行原始数据采集、对中、重构； 加速电压：60 kV，200kV，300kV （可选）。 |
| 功能说明 |
用于金属、半导体、多层膜、二维材料等在纳米或原子尺度下的晶体结构表征和化学成分分析等： 可实现TEM成像、HAADF/ADF/BF/iDPC-STEM成像、能量过滤TEM像（EFTEM）、衍射和电子能量损失谱（EELS）分析； 可实现原子分辨的EDS能谱分析； 可实现TEM模式、STEM模式和EDS模式的三维重构； 有针对磁性材料研究的不受场约束的 Lorentz 模式成像； 配置原位样品杆可实现应力、高温和电压等外场下的材料微观结构的实时观察。 |
| 技术指标 |
TEM信息分辨率：60pm@300kV； STEM点分辨率：50pm@300kV；96pm@60kV； EELS能量分辨率：0.2-0.3eV@300kV； |