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显微科学与技术-松山湖论坛
大湾区显微科学与技术研究中心第一届学术与技术交流会成功举办
2021全国电子显微学学术年会
大湾区显微科学与技术研究中心项目启动

中心简介

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大湾区显微科学与技术研究中心(简称:大湾区电镜中心)是松山湖材料实验室重大科学装置平台之一。该中心的组建旨在建设成为物质微结构研究南方基地以及超高空间分辨和超高能量分辨的材料成像中心。该中心紧密结合松山湖材料实验室总体布局以及粤港澳大湾区未来物质结构研究发展规划,以期逐步成为能够代表国家水平的物质微结构研究基地、显微技术人才培养及教育基地、未来国家物质结构研究的重要组成部分、粤港澳交叉开放的新窗口。
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Spectra 300 像差校正透射电子显微镜
用于金属、半导体、多层膜、二维材料等在纳米或原子尺度下的晶体结构表征和化学成分分析等: 可实现TEM成像、HAADF/ADF/BF/iDPC-STEM成像、能量过滤TEM像(EFTEM)、衍射和电子能量损失谱(EELS)分析; 可实现原子分辨的EDS能谱分析; 可实现TEM模式、STEM模式和EDS模式的三维重构; 有针对磁性材料研究的不受场约束的 Lorentz 模式成像; 配置原位样品杆可实现应力、高温和电压等外场下的材料微观结构的实时观察。
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JEM-ARM300F2 冷场发射像差校正透射电子显微镜
JEM-ARM300F2 具有高亮度、高相干性、低能量展宽的冷场发射电子源系统,有照明系统电子束斑校正功能, 可实现亚埃尺度的扫描透射高分辨明场、暗场、高角环形暗场成像功能。同时配合高分辨率的X 射线能谱仪及电子能量损失谱仪,实现研究材料中轻、重元素原子亚埃尺度分辨率下同时成像及元索分布分析, 实现材料中全组元的结构及组成原子级分析。同时利用冷场电子枪的低能量分散的特点,可实现低电压或低电子剂量下,易辐照损伤的材料原子尺度结构及组成分析。配合三维重构样品杆,可实现纳米材料的三维原子成像;配合原位样品杆可实现应力、高温和电压等外场下材料原子尺度晶体结构的实时观察。
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JEM-F200 场发射透射电子显微镜
主要用于各种固态材料的高分辨形貌观察和微区的晶体结构分析,结合高灵敏度的能谱仪实现快速成分分析,配合原位样品杆可实现应力、高温和电压等外场下材料原子尺度晶体结构的实时观察。
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Talos F200X G2 场发射透射电镜
用于金属、半导体、多层膜、二维材料等在纳米或原子尺度下的晶体结构表征和化学成分分析等:可实现TEM成像、HAADF/ADF/BF/iDPC-STEM成像、衍射等分析;可实现纳米尺度分辨的EDS能谱分析;可实现TEM模式、STEM模式和EDS模式的三维重构;配置原位样品杆可实现应力、高温和电压等外场下的材料微观结构的实时观察。
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Helios 5UX 聚焦离子束系统
用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构、高质量定点TEM样品制备。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积;高分辨扫描电镜功能可对离子束微纳加工样品进行实时观测。
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Verios 5UC 高分辨场发射扫描电子显微镜
用于纳米材料的高分辨微观形貌观察和微区分析
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实验室及合作单位
松山湖材料实验室