冷场发射像差校正透射电子显微镜
| 仪器型号 | JEM-ARM300F2 |
|---|---|
| 制造商 | 日本JEOL公司 |
| 安装时间 | 2021年11月 |
| 设备配置 | 配有高亮度、高相干性和低能量展宽的冷场发射电子枪(X-CFEG)； 聚光镜球差矫正器(COSMO)，配置COSMO自动球差校正软件自动校正聚光镜光学系统中的4 阶（STEM）像差，自动聚焦获得STEM 图像； BF/ABF/HAADF探测器； 双探测器超级能谱仪(EDS)：探测面积316mm2； Gatan OneView相机和1065 GIF系统； 3D重构成像系统，倾转角≥±90°； 加速电压：80kV，200kV，300kV （可选）。 |
| 功能说明 | JEM-ARM300F2 具有高亮度、高相干性、低能量展宽的冷场发射电子源系统，有照明系统电子束斑校正功能， 可实现亚埃尺度的扫描透射高分辨明场、暗场、高角环形暗场成像功能。同时配合高分辨率的X 射线能谱仪及电子能量损失谱仪，实现研究材料中轻、重元素原子亚埃尺度分辨率下同时成像及元索分布分析， 实现材料中全组元的结构及组成原子级分析。同时利用冷场电子枪的低能量分散的特点，可实现低电压或低电子剂量下，易辐照损伤的材料原子尺度结构及组成分析。配合三维重构样品杆，可实现纳米材料的三维原子成像；配合原位样品杆可实现应力、高温和电压等外场下材料原子尺度晶体结构的实时观察。 |
| 技术指标 |
TEM信息分辨率：90pm@300kV； STEM点分辨率：53pm@300kV；63pm@200kV；96pm@80kV； EELS能量分辨率：0.3eV |