SE/BSE探测器；五轴马达驱动样品台；真空蠕变仓；高分辨EDS能谱； 高性能EBSD系统；原位拉伸台（最大载荷：4000N、最大行程：20mm、控制精度：满量程±0.2%）；原位SE加热台（温度：室温~1200℃、加热区域：φ8mm、控温精度：±5℃）；原位EBSD加热台(温度：室温~950℃、加热区域：φ8mm、控温精度：±5℃)；原位蠕变台（最大载荷：4000N、最大行程：20mm、控制精度：满量程±0.2%）

用于材料表面的微观形貌观察和微区分析，配合EDS对材料的元素进行定性、半定量分析，配合EBSD对材料的晶体结构和晶体取向进行分析。配合原位系统可实现对材料进行原位室温拉伸测试、原位高温拉伸测试、原位室温压缩测试、原位室温弯曲测试、原位加热测试、原位高温蠕变测试，来研究材料性能与其微观结构的内禀关系。

电子束加速电压：0.2-30 kV；

电子束流：1 pA-20 nA；

放大倍数：1X~2500000X；

电子束分辨率：≤0.6 nm @15kV，≤1 nm @1kV