场发射透射电镜
| 仪器型号 | Talos F200X G2 |
|---|---|
| 制造商 | 美国ThermoFisher公司 |
| 安装时间 | 2021年11月 |
| 设备配置 | 配有肖特基热场发射电子枪； 分割式STEM探头和DPC/iDPC技术； 无窗口四探头Super-X超级能谱探测器； Ceta 16M相机； 3D重构成像系统，自动进行原始数据采集、对中、重构； 加速电压： 80kV，200kV（可选）。 |
| 功能说明 | 用于金属、半导体、多层膜、二维材料等在纳米或原子尺度下的晶体结构表征和化学成分分析等：可实现TEM成像、HAADF/ADF/BF/iDPC-STEM成像、衍射等分析；可实现纳米尺度分辨的EDS能谱分析；可实现TEM模式、STEM模式和EDS模式的三维重构；配置原位样品杆可实现应力、高温和电压等外场下的材料微观结构的实时观察。 |
| 技术指标 |
TEM信息分辨率：0.12nm@200kV； STEM点分辨率：0.16nm@200kV； |