聚焦离子束系统
| 仪器型号 | Helios 5UX |
|---|---|
| 制造商 | 美国ThermoFisher公司 |
| 安装时间 | 2021年11月 |
| 设备配置 | 离子束系统： 加速电压：0.5-30kV； 束流强度：1pA-65nA； 离子源：液态Ga离子源； 金属沉积系统：可沉积W，C等； 电子束系统： 配有单色器； 加速电压：20V-30kV； 束流强度：0.8pA-65nA； SE/BSE/STEM探测器； 五轴驱动样品台； 全自动TEM样品纳米机械手； 高分辨EDS能谱系统； 高性能EBSD系统； |
| 功能说明 | 用于金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体样品上制备微纳结构、高质量定点TEM样品制备。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积；高分辨扫描电镜功能可对离子束微纳加工样品进行实时观测。 |
| 技术指标 |
离子束分辨率：2.5nm@30kV； 电子束分辨率：在最佳工作距离：0.6nm@15 kV-2kV；0.7nm@1 kV； |