聚焦离子束系统
仪器型号 | Helios 5CX |
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制造商 | 聚焦离子束系统 |
安装时间 | 2021年11月 |
设备配置 |
离子源:液态Ga离子源; 金属沉积系统:可沉积W,C、绝缘体(TEOS); 电子束系统: SE/BSE探测器; 五轴驱动马达样品台;真空转移样品杆; 全自动TEM样品纳米机械手; 高分辨EDS能谱系统; 高性能EBSD系统。 |
功能说明 |
可对金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体材料进行微纳加工,高质量定点TEM样品制备。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积;高分辨扫描电镜功能可对离子束微纳加工样品进行实时观测;在样品转移过程中,真空转移样品杆能够有效隔离样品和外界气体的接触,避免气氛中的污染物对样品的影响。 |
技术指标 |
离子束系统: 加速电压:0.5-30kV;束流强度:1pA-100nA;分辨率:2.5nm@30kV; 电子束系统: 配有单色器; 加速电压:20V-30kV; 束流强度:0.8pA-100nA;分辨率:0.6nm@15 kV;0.9nm@1 kV |