高分辨场发射扫描电子显微镜
仪器型号 Verios 5UC
制造商 美国ThermoFisher公司
安装时间 2021年11月
设备配置 配有单色器； 加速电压：20V-30kV； 束流强度：0.8pA-100nA； SE/BSE探测器； 五轴驱动样品台； 高分辨EDS能谱系统； 高性能EBSD系统；
功能说明 用于纳米材料的高分辨微观形貌观察和微区分析
技术指标 分辨率： 二次电子像：0.6nm@15 kV；0.7nm@1 kV；
电子邮箱
bacem@sslab.org.cn
实验室地址
东莞市大朗镇屏东路333号松山湖材料实验室A4栋