场发射扫描电子显微镜
| 仪器型号 | Apreo 2 S HiVac | |
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| 制造商 | 美国ThermoFisher公司 | |
| 安装时间 | 2024-12 | |
| 设备配置 |
SE/BSE探测器；电子束摇摆模式； 五轴全对中马达驱动样品台；快速交换仓；大面积连续拼图及数据互联软件； 高分辨EDS能谱、平插能谱系统； 高性能EBSD系统； |
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| 功能说明 |
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| 技术指标 |
加速电压：200V-30kV； 束流强度：1pA-50nA； 分辨率： 二次电子像：0.5nm@15 kV；0.8nm@1 kV ；0.8nm@500V； |