高分辨X射线衍射仪
| 仪器型号 | X'Pert3 MRD |
|---|---|
| 制造商 | 英国Malvern Panalytical公司 |
| 安装时间 | 2021年11月 |
| 设备配置 |
PIXcel3D探测器；五轴欧拉环样品台；Hybrid 混合单色器；X射线平行光镜；Collimator 0.27 DEG PFX平板准直器；DHS1100高精度高温原位样品台 |
| 功能说明 | 通过X'Pert3 MRD高分辨X射线衍射仪对样品进行X射线衍射，分析其衍射图谱，获得物相的定性和定量分析、内部原子或分子的结构或形态等信息。可测量样品的平均晶粒尺寸、织构、相对结晶度和进行点阵常数以及残余应力的计算等。此外，可测量化合半导体材料之单晶和外延层材料的结晶完整性，进行外延层及相应半导体器件结构的组分、厚度、弛豫度等参数的测定，外延结构的晶格失配及应变状态分析。 |
| 技术指标 |
最大功率：3kW；最大管压：60kV；最大管流：60mA；测试温度：室温~1100℃ 测角仪：扫描方式为θ/2θ，角度重现性为±0.0001° |