可对金属、半导体、电介质、多层膜结构等固体材料进行微纳加工，高质量定点TEM样品制备。离子束刻蚀、离子束沉积、电子束沉积；高分辨扫描电镜功能可对离子束微纳加工样品进行实时观测；在样品转移过程中，真空转移样品杆能够有效隔离样品和外界气体的接触，避免气氛中的污染物对样品的影响。

用于材料表面的微观形貌观察和微区分析，配合EDS对材料的元素进行定性、半定量分析，配合EBSD对材料的晶体结构和晶体取向进行分析。配合原位系统可实现对材料进行原位室温拉伸测试、原位高温拉伸测试、原位室温压缩测试、原位室温弯曲测试、原位加热测试、原位高温蠕变测试，来研究材料性能与其微观结构的内禀关系。